據杭州日報,近日,作為基地首批簽約孵化項目之一,全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試,其精度比肩國際主流設備,標志著量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。在測試現場,浙大余杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著,一臺模樣酷似大型鋼柜的機器正在做應用測試,電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數。“這不是普通的機器,而是一支能在頭發絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人告訴記者,依托省重點實驗室,這臺研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。
“羲之”取名自書法家王羲之,“只不過我們的‘毛筆’是電子束,在芯片上刻寫電路。”研發團隊相關負責人介紹,這臺設備專攻量子芯片、新型半導體研發的核心環節,它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路,精度達到0.6nm,線寬8nm,可靈活修改設計無須掩膜版,如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫,特別適合芯片研發初期的反復調試。
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