在半導(dǎo)體工藝進入10nm節(jié)點之后,制造越來越困難,其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到EUV光刻機了,而后者目前只有荷蘭ASML阿斯麥公司才能供應(yīng)。中芯國際去年也訂購了一臺EUV光刻機,日前該公司表示與ASML之間已解決光刻機的問題,EUV技術(shù)研發(fā)步入正軌。
前不久有消息稱ASML停止對中芯國際供應(yīng)EUV光刻機,隨后ASML公司表示不是停供,而是延期,主要是在準(zhǔn)備該國政府的出口申請文本工作。
中芯國際董事長周子學(xué)日前在韓國訪問,韓媒報道稱周子學(xué)表態(tài)已經(jīng)解決了與ASML之間就光刻機供應(yīng)存在的問題,強調(diào)中芯國際在先進工藝上的研發(fā)、生產(chǎn)一直處于穩(wěn)定的軌道上,與客戶及設(shè)備供應(yīng)商之間沒有任何問題。
ASML公司是EUV光刻機目前唯一的供應(yīng)商,今年四季度,ASML預(yù)計交付8臺EUV光刻機,平均每臺價格達到了1.2億歐元,折合人民幣9.3億元,堪稱人類最昂貴的設(shè)備了。
【版權(quán)聲明】秉承互聯(lián)網(wǎng)開放、包容的精神，萬通商務(wù)網(wǎng)歡迎各方(自)媒體、機構(gòu)轉(zhuǎn)載、引用我們原創(chuàng)內(nèi)容，但要嚴(yán)格注明來源萬通商務(wù)網(wǎng)；同時，我們倡導(dǎo)尊重與保護知識產(chǎn)權(quán)，如發(fā)現(xiàn)本站文章存在版權(quán)問題，煩請將版權(quán)疑問、授權(quán)證明、版權(quán)證明、聯(lián)系方式等，發(fā)郵件至770276607@qq.com，我們將第一時間核實、處理。
部分資訊信息轉(zhuǎn)載網(wǎng)絡(luò)或會員自己投稿發(fā)布，如果有侵犯作者權(quán)力，請聯(lián)系我們刪除處理，聯(lián)系QQ：770276607
部分資訊信息轉(zhuǎn)載網(wǎng)絡(luò)或會員自己投稿發(fā)布，如果有侵犯作者權(quán)力，請聯(lián)系我們刪除處理，聯(lián)系QQ：770276607
