氯 化氫氣體為強刺激性、不燃氣體、溶水后有強烈腐蝕性 . 產品包裝于高壓專用鋼瓶中、處于液態 . 專用鋼瓶為鋼質無縫氣瓶、瓶內拋光處理 . 瓶閥為抗腐蝕不銹鋼隔膜閥 . 鋼瓶設計壓力為12.5Mpa,工作壓力約5-6Mpa .
電子級(VLSI)氯 化氫產品生產裝置于2003年投產、經北京市科委鑒定、主要用于半導體器件生產中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質合金制造 . 5.0N電子級(VLSI)氯 化氫產品分別經國家標準物質研究中心和信息產業部專用材料質量監督檢驗中心抽樣檢驗、純度大于99.999%、總雜質含量小于5ppm、產品性能指標與國 際品牌相當 . 5.0N電子級(VLSI)氯 化氫產品經國內外多家半導體重點企業連續大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用、制得的器件產品質量與國際知名品牌相當 .
氯 化氫產品的生產工藝為本公司專利技術、具有自主知識產權、填補了國內高純氯 化氫產品生產空白 . 氯 化氫產品參照SEMIC3.35-1101HCl標準、并執行國家標準GB/T24469-2009(電子級)和企業標準Q/ZWDL001-2006(化學級) . 氯 化氫產品采用HCl專用鋼瓶包裝、鋼瓶符合國標GB5099-1994或DOT3AA標準、瓶閥為316L不銹鋼隔膜式閥、接口為CGA330 . 本公司提供氯 化氫專用配套設施、設備、閥門、減壓器、并提供優質技術服務和售后服務 . 本公司具有完備的氯 化氫專用鋼瓶脫水設備和技術、為客戶提供鋼瓶處理和維修服務 .
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