定安 縣實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)/安 裝/施工/改造/海南科美迪公司

實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的功能

滿足不同實(shí)驗(yàn)的要求和安 全性,雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備,具有手動、半自動和全自動切換功能,并沒有低壓報(bào)警裝置,實(shí)時(shí)監(jiān)控氣壓、濃度檢測報(bào)警和排確保客戶正常用氣和生命財(cái)產(chǎn)安 全。

氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

鋼瓶(氣體壓縮機(jī))、鋼瓶國定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金厘軟管、半自動開關(guān)裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套情閥、不銹鋼管(ba)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測報(bào)警裝置等。

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

1、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實(shí)心墻,安 裝防爆門,設(shè)置防爆裔

(2)室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能:

(3)應(yīng)安 裝排氣扇,隨時(shí)保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

2、供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓,氣體從15mpa減壓到小于1.5mpa,然后輸送到每個(gè)氣體使用實(shí)驗(yàn)室。二級減壓器安 裝在每個(gè)用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn),便于對通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進(jìn)行統(tǒng)一控制,用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器精確調(diào)節(jié)壓力(.01兆怕,獲得穩(wěn)定的壓力,可以滿足儀器對不同使用壓力的要求,一級減壓器和二級減壓器均配有壓力表,可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前壓力.

3,采用雙側(cè)匯流排半自動方式連續(xù)供氣,實(shí)驗(yàn)室使用要求,更換氣瓶時(shí),可以通過安 裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶。

4、氫氣和乙快是。應(yīng)設(shè)計(jì)氣體泄漏檢測和報(bào)警裝置,并安 裝陽火器,以防止明火回流。應(yīng)確保放置易燃和助燃?xì)怏w的足夠安 全距離.

實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局1,高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來說,要求管道不要太長,不要有死角,如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,讓少量氣體在管道未端連續(xù)排出,從而管道中的氣體將正常流動,避免出現(xiàn)”死區(qū),根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,必憑時(shí)應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來說,控制閥、過減器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在分析儀器等,進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,便于

統(tǒng)一管理和控制。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例,半號體工業(yè)僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,而目由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工,對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術(shù),對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格,10-6 ppm級)不能滿足要求,需要達(dá)到10-9 (ppb級)其至10-12pt級),粉 塵粒經(jīng)要控制在0.05-0.01 um。因此,輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。