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純水電解制氫是把滿足要求的電解水（電阻率大于1mω/cm,電子或分析行業用的去離子水或二次蒸餾水皆可）送入電解槽陽極室,通電后水便立刻在陽極分解：2h2o=4h++ 2o-2,分解成的負氧離子（o-2）,隨即在陽極放出電子,形成氧氣（o2）,從陽極室排出,攜帶部份水進入水槽,水可循環使用,氧氣從水槽上蓋小孔放入大氣。氫質子以水合離子（h+xh2o）的形式,在電場力的作用下,通過spe離子膜,到達陰極吸收電子形成氫氣,從陰極室排出后,進入氣水分離器,在此除去從電解槽攜帶出的大部分水份,含微量水份的氫氣再經干燥器吸濕后,純度便達到99.999％以上。實際上用于吸氫機是不需要水份干燥的。