低溫等離子凈化作用機理包含兩個方面：

1、在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子內的化學鍵，使之分解為單質原子或無害分子。

2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。

當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量·oh、·ho2、·o等活性自由基和氧化性極強的o3，與有害氣體分子發生化學反應，最終生成無害產物。

低溫等離子體中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的健康效應，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽為“空氣維生素  ”、“長壽素  ”。

低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有優秀的消毒殺菌之功效。

低溫等離子光解凈化器的保養規范：

1、一定要嚴格遵守廢氣處理工藝技術規程、規程和崗位操作規程，這些規程是組織生產與進行操作的基本法規，是從生產和科研實踐中總結出來的規律性的東西。嚴格遵守這些法規是日常運行中重要的一條原則。

2、務必要強調各工種的相互配合，生產中往往因廢氣處理設備輔助工作發生錯誤而影響生產的正常運行，如分析的錯誤將引起加料量和物料成分的改變；儀表的指示錯誤會欺騙操作人員，使得實際操作條件大大偏離工藝規程的要求。電器故障和設備故障也會引起生產的不正常。

3、必須認真執行設備各項規章制度

4、做等離子uv光解器的企業應該具備的制度：適合自己實際情況的運行管理制度，責任制度，交接班制度，檢測制度，設備維護、檢修制度，健康檢查制度，質量檢驗制度和經濟核算制度等。