隨著近些年來半導體行業的飛速發展,對于微細加工技術的要求也越來越高。微電子生產設備,光學儀器等高靈敏度設備,針對其工作環境（如振動,噪聲,電磁以及溫濕度）,尤其是振動條件提出了更苛刻的要求。針對此類振動幅值小,精度要求高,工作頻率低的使用環境特征,常規的通用數據采集設備無法滿足其測量評估要求。

微振動測試模擬

針對微振動測試模擬需求,瑞鴻科技提供完整的微振動測試與模擬的交鑰匙解決方案,已有多家客戶正在使用。

1.        微振動模擬發生器

2.        微振動配套環境實時

3.        可以模擬0.1mg正弦掃頻

4.        測試可以達到ug級微振動測試

整個系統建立在隔振環境好的實驗室內,由低噪聲的微振動控制器、低噪聲微振動試驗系統、低噪聲的傳感器以及電腦組成。微振動發生試驗系統包括低噪聲低失真的功率放大器、微振動發生器和冷卻系統以相關的輔助設施實現。

為了整個系統的性能要求,采取了微振動采集儀低噪聲的設計和生產,同時選用低噪聲的微振動拾取器,配合低噪聲算法軟件,實現微振動的測試,整個系統達到0.01mg的測試精度。

優勢

（1）          整個系統低噪聲,動態響應好,失真度低,低噪聲

（2）          公司整個針對微振動系統工程經驗豐富,技術成熟

（3）          上海可以本地技術支持

（4）          有成熟案例

主要技術參數和指標

（1）          主要頻率范圍5hz～100hz。

（2）          振動加速度范圍1mg～0.05g(可視實際環境工況而定)

（3）          控制精度mg級

（4）          振動方式：正弦、隨機、沖擊

（5）          負載重量：大于200kg

系統組成（非標定制）

微振動發生系統：包含低噪聲低失真功率放大器、微振動發生器和冷卻系統。功率放大器采用風冷,為低噪聲低失真的輸出功率為15kva。放大器采用新技術的mosfet功率晶體管,數字脈沖模式工作方式。不對稱輸入,具有高功效的大的帶寬,針對于微振動試驗的特殊要求,專門對攻放進行低噪聲的優化設計,使攻放的信噪比優于80db,失真度小于0.7％,針對于微振動的低勵磁模式控制。微振動發生器裝有自動氣囊載荷補償裝置,在大負荷下能實現振幅。針對微振動微笑振動控制的優化設計,使微振動發生器及時在微小振動情況下也能做到高響應精度發生,微振動發生器和放大器之間的連接電纜長5米。

微振動控制系統：振動控制設備的插件包括標準的數字信號處理面板,模擬-數字和數字-模擬轉換軟件,處理所有振動和沖擊控制模式的標準軟件。針對微振動專門優化硬件和軟件,實現低噪聲設計控制。

微振動采集分析系統：為了整個系統的性能要求,采取了微振動采集儀低噪聲的設計和生產,同時選用低噪聲的微振動拾取器,配合低噪聲算法軟件,實現微振動的測試,整個系統達到0.01mg的測試精度。

加速度傳感器與附件（選件）：針對微振動試驗要求,選用低噪聲的傳感器,以及放大器來實現微振動的試驗。