一、引言（學習藍寶石襯底的用意及用處）

近二十年來,氮化鎵基發光二極管取得了飛躍式發展,并實現了大規模的產業化生產。氮化鎵基發光二極管由于其高效、節能、環保等優越性能,將取代現有_的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態照明工具。

然而,同質外延生長所需的高質量gan襯底的價格昂貴且遠不能滿足大規模生產的需求。現有_的外延襯底大部分仍是藍寶石,由于藍寶石與gan材料存在晶各失配和熱失陪等缺點,這阻礙了gan晶體質量的提高,從而導致了gan的發光器件性能的進一步提高。大量研究表明,圖形化藍寶石襯底有_利于降低晶體的位錯密度和應力釋放,從而大大改善gan晶體的質量和gan的發光器件性能。

二、藍寶石襯底的常規清洗方法

在正常的室溫下,有_機_溶_劑 _超聲清洗,以及加熱條件下,丙酮 浸泡。

實施本發明的藍寶石襯底清洗方法,取消了傳統清洗方法中使用的三氯 乙烯試劑 _,減少了環境污染,避免人員中毒,在清洗過程中,使用超聲波和加熱清洗,可節省清洗時間,提高清洗效率和質量。工藝簡單、操作方便,滿足環保要求。

然而,使用超聲波清洗機_清洗藍寶石襯底,是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的。

三、藍寶石襯底清洗用超聲波設備類型中的光學超聲波清洗機_

深圳威固特vgt-1403fh為光學超聲波清洗機_,設備共有_14個功能槽,配置有_循環過濾系統、有_機_溶_劑 _蒸餾回收系統、自動恒溫系統、拋動系統、超聲波清洗系統、抽風裝置、環保液前處理系統、慢拉脫水、熱風烘干等。設備采用環保型有_機_溶_劑 _洗滌、水溶_劑 _洗滌、純水漂洗、離心烘干為環保型清洗機_。是藍寶石襯底在清洗設備上值得首要考慮的。

四、深圳威固特vgt-1403fh光學超聲波清洗機_的小部分結構配置是這此需了解的

熱風烘干槽：

結構：每個烘干槽配置一套氣缸

加熱系統結構：

1、外置式不銹鋼加熱箱；

2、內設不銹鋼加熱管,功率12kw,配omron數顯式溫控系統,監控箱內熱風溫度,溫控范圍：～120℃。

ffu壓風系統：

結構：在烘干槽正上方的機_架頂部設置一個ffu層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風,致使工件加熱后附著物不易粘附。

功能：因慢拉槽液溫較高,如無頂部的ffu壓風,大量的水汽將往上騰,水氣會再次附著于提出的藍寶石襯底上；安 裝ffu后,可在上方形成局部正壓,大部分水氣從缸面的抽氣口抽走。

其實,也有_很多對干凈后的藍寶石襯底樣品選擇進行旋轉吹干處理。深圳威固特的甩干機_的基本工藝操作流程簡單概述下：

開機_—參數設置—裝入樣品—啟動,執行工藝流程—啟動,執行工藝流程—過程結束,取出樣品。