降溫可控無塵烘箱 聯網百級無塵烘箱 plc自動化無塵烘箱

無塵烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(pre baking)、涂膠后的軟烘焙soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸 鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于lcd、tft、coms、生物、醫 藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。

一、聯網無塵烘箱人性化箱體結構

1)上下雙腔結構,節省占地面積.

2)sus304#鏡面不銹鋼內膽,sus304#拉絲不銹鋼板外殼,造型大方、新穎.

3)耐高溫風機和合理風道構成熱風循環系統,保證室內溫度均勻性.

4)美國進口h.e.p.a filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，

過濾效率99.99％，class 100

二、聯網無塵烘箱自動化控溫系統

1）采用智能控制系統,日本優易控  10〃tft真彩觸摸薄屏

  程式編輯：可預編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段

  歷史數據查詢(數據可以通過usb接口導出)

  可對接mes系統數據采集需求

2）電氣線路設計新穎，合理布線，安 全可靠

3）箱體側部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修。

三、聯網無塵烘箱安 全完善的保護措施

1）超溫報警

2）欠相缺相保護

3）過電流保護

4）快速熔斷器

5）接地保護等系統。該功能充分保護實驗人員的安 全。

公司名稱：上海旦順實業有限公司