現在等離子設備是處理環保設備的一種有效手段，面對不現在全球化的環境污染問題有很好的的治理效果。這種設備的使用可能危害到人體的身體健康，等離子設備的安  裝和使用才顯得重要。

等離子廢氣處理設備作為一種高效、低能耗、處理量大、操作簡單的環保新技術來處理有毒、有害及難降解物質，低溫等離子設備是近年來一項重大科技成果，具有其它方法無法比擬的絕對優勢。低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素  。

生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑  的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制ph值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。

而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時消除混合污染物，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。