半導(dǎo)體硅制氮設(shè)備

一般psa純度：95～99.9995％；：1～3000nm3/h。深冷制氧空分純度可達(dá)到99.6％（特出情況除外）流量可達(dá)到3000立方。深冷制氮裝置流量可到到6000以上。碳分子篩的孔徑分布特性使其能夠?qū)崿F(xiàn)o2、n2的動力學(xué)分離。這樣的孔徑分布可使不同的氣體以不同的速率擴(kuò)散至分子篩的微孔之中,而不會排斥混合氣（空氣）中的任何一種氣體。碳分子篩對o2、n2的分離作用是基于這兩種氣體的動力學(xué)直徑的微小差別,制氮機(jī)分子的動力學(xué)直徑較小,因而在碳分子篩的微孔中有較快的擴(kuò)散速率,,氮?dú)夥肿拥膭恿�學(xué)直徑較大,因而擴(kuò)散速率較慢。制氮機(jī)壓縮空氣中的水和二氧化碳的擴(kuò)散同氧相差不大,而氬擴(kuò)散較慢。最終制氮機(jī)從吸附塔富集出來的是n2和ar的混合氣。

半導(dǎo)體硅制氮設(shè)備

的節(jié)能指標(biāo)是用氣耗比來衡量,在相同的產(chǎn)氮量和純度下,氣耗比=空氣量÷產(chǎn)氮量；氣耗比大,相對空壓機(jī)耗能也越大。我公司生產(chǎn)的節(jié)能型變壓吸附制氮機(jī)能耗低,一步直接制取高純度氮?dú)?9.9995％,無需純化設(shè)備,項(xiàng)目投資省、運(yùn)行成本低、性價(jià)比更高。 “凱合空分”： 主要產(chǎn)品：中小型深冷空分設(shè)備,psa制氮設(shè)備,psa制氧設(shè)備,vpsa制氧裝置以及壓縮空氣凈化裝置。

半導(dǎo)體硅制氮設(shè)備