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陽建良()

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陽建良 ()
三氯 氫硅合成尾氣的體積分數分別為hcl 30%;h2 64.2%;sihcl3 5.4%;其他0.2%。多晶硅混合氣是在還原三氯 氫硅過程中產生的尾氣,成分復雜,主要是四氯 化硅和三氯 氫硅,二氯 二氫硅等。多晶硅和三氯 氫硅尾氣未經處理排放大氣,不僅造成污染,還存在重大安 全隱患。 根據尾氣的特性、成分、壓力等,選擇適當的工藝流程和技術條件進行尾氣處理,則可降低三廢排放,變廢為寶。把尾氣經過壓縮后采用冷凝或變壓吸附法(即濕法處理,常規干法或新型干法技術處理)進行吸附、分離、提純,尾氣則變成可回收的產品或可循環使用的原料。 我公司生產制造多晶硅、三氯 氫硅尾氣壓縮機,以及生產多晶硅、三氯 氫硅需要的補充氫壓縮機、循環氫壓縮機、還原氫壓縮機、氮氣壓縮機。多晶硅、三氯 氫硅尾氣壓縮機采用填函前置氣頂氣、回收室一次氮封、d型隔離室二次氮封的安 全密封結構,確保介質氣體不會外漏.
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地區:三明
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