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陽建良()
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陽建良 ()
三氯 氫硅合成尾氣的體積分數分別為hcl 30％；h2 64.2％；sihcl3 5.4％；其他0.2％。多晶硅混合氣是在還原三氯 氫硅過程中產生的尾氣，成分復雜，主要是四氯 化硅和三氯 氫硅，二氯 二氫硅等。多晶硅和三氯 氫硅尾氣未經處理排放大氣，不僅造成污染，還存在重大安 全隱患。 根據尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當的工藝流程和技術條件進行尾氣處理，則可降低三廢排放，變廢為寶。把尾氣經過壓縮后采用冷凝或變壓吸附法（即濕法處理，常規干法或新型干法技術處理）進行吸附、分離、提純，尾氣則變成可回收的產品或可循環使用的原料。 我公司生產制造多晶硅、三氯 氫硅尾氣壓縮機，以及生產多晶硅、三氯 氫硅需要的補充氫壓縮機、循環氫壓縮機、還原氫壓縮機、氮氣壓縮機。多晶硅、三氯 氫硅尾氣壓縮機采用填函前置氣頂氣、回收室一次氮封、d型隔離室二次氮封的安 全密封結構，確保介質氣體不會外漏.
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地區：三明
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