藍寶石拋光液是以高純度硅粉 為原料,經特殊工藝生產的一種高純度低的金屬離子型拋光產品。

藍寶石拋光液主要用于藍寶石襯底的拋光。還可廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光。

如：硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。

藍寶石拋光液的特點：

1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。

2.高純度（cu含量小于50 ppb）,有效減小對電子類產品的沾污。

3.高平坦度加工,藍寶石拋光液是利用sio2的膠體粒子進行拋光,不會對加工件造成物理損傷,達到高平坦化加工。

藍寶石拋光液根據ph值的不同可分為酸 性拋光液和堿 性拋光液。

藍寶石拋光液的型號：

堿 性型號（ph:9.8±0.5）：soq-2a、soq-4a、soq-6a、soq-8a、soq-10a、soq-12d

酸 性型號（ph:2.8±0.5）：asoq-2a、asoq-4a、asoq-6a、asoq-8a、asoq-10a、asoq-12d

粒徑(nm)： 10~30 30~50 50~70 70~90 90~110 110~130

外觀： 乳白色或半透明液體

比重 1.15±0.05

組成 sio2：15~30％

na2o：≤0.3％

重金屬雜質 ：≤50 ppb