無錫吉致電子25年研發生產——淺槽隔離拋光液/sti slurry拋光液/淺溝槽隔離化學機械拋光液/淺溝槽隔離slurry/淺槽隔離研磨拋光液/sti淺槽隔離平坦化拋光液slurry/淺溝槽隔離拋光液拋光漿料slurry/吉致電子sti拋光液

產品簡介：sti slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。

具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調,低缺陷等特性。可應用于邏輯芯片以及3d nand和dram芯片等量產使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。

我司產品優點：

1.懸浮性好,不易沉淀,使用方便。

2.顆粒分散均勻,不團聚,軟硬度適中,有效避免拋光過程中由于顆粒團聚導致的工件表面劃傷缺陷。

3.運用拋光過程中的化學新作用,提高拋光速度,改善拋光表面的質量。

4.分散性好、乳液均一,程度提升拋光速率的同時降低微劃傷的概率,可以提高拋光精度。

5.無粉 塵產生,關注環保和人體健康安 全。

可定制化：我們的拋光液可以根據客戶需求定制不同的ph、粒徑、濃度、穩定離子等。

包裝方式：25kg/桶(也可依客戶需求)