低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。

　　低溫等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。 本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。

　　等離子光解廢氣處理設備是等離子廢氣凈化和UV光解廢氣凈化設備兩種設備相結合而成的，設備主要分為紫外線光解區和等離子分解區，惡臭氣體先經過紫外線光解區反應然后再進入等離子分解區進一步分解，經多級凈化后使排放的惡臭氣體達標后排放。

　　低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。